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石墨加熱器

石墨發(fā)熱體(graphite heater)是指用石墨材料制成的電爐加熱發(fā)熱體部件。石墨具有優(yōu)良的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能,在特種工業(yè)爐為電爐中常用石墨作為發(fā)熱體。工業(yè)電爐中早期選用石墨電極做發(fā)熱體,后選用密度高的高功率電極作發(fā)熱體。半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展,提煉單晶硅、單晶鍺,砷化鎵、磷話銦等材料的加熱爐選擇高純細(xì)結(jié)構(gòu)石墨和各向同性石墨作發(fā)熱體。一些特殊的工業(yè)路和試驗(yàn)爐用炭布或石墨布作發(fā)熱體。

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