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1200℃ RTP單溫區(qū)快速退火爐 TP-1200-RTP
TP-1200-RTP滑動(dòng)式快速退火爐是一款能夠1200℃快速升溫和降溫的管式爐，其通過紅外燈管加熱達(dá)到快速升溫的效果（極限升溫速率> 500°C/S），通過爐體滑動(dòng)來達(dá)到快速冷卻效果（極限降溫速率> 100°C/S） 。該爐子適用于半導(dǎo)體材料、納米材料、金屬材料等領(lǐng)域 。
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品特點(diǎn) | 可以放入4英寸基片退火 推拉滑軌式法蘭卡扣密封，方便快接放取樣品 紅外加熱極速升溫500℃/S，極速降溫100℃/S 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻 直接測(cè)量樣品表面溫度，測(cè)溫更精準(zhǔn) 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動(dòng)左右移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)快速降溫或更多的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用 豐富的擴(kuò)展接口，能夠滿足各類試驗(yàn)的需求 可以保護(hù)氣氛環(huán)境下冷卻 | |
加熱系統(tǒng) | 輸入電源 AC 380V 50HZ， 功率：15KW 極限工作溫度：1200℃（＜30min)，長期工作溫度：1100℃ 控溫?zé)犭娕迹篠型熱電偶，緊貼在ALN片樣品臺(tái)下（ALN片為標(biāo)配，可按照客戶要求定制不同材質(zhì)基片） 加熱元件：紅外燈管 6根短波紅外燈管，每根2.5KW 加熱區(qū)尺寸：Ф170mm*200mm 石英管：Ф110*380mm | |
不銹鋼密封法蘭系統(tǒng) | 水冷密封法蘭，密封法蘭和腔體法蘭之間采用硅膠O型圈密封方式。 右端法蘭裝有機(jī)械壓力表和進(jìn)氣截止閥，預(yù)留KF真空接口，石英觀察窗口。 右端法蘭內(nèi)側(cè)有石英制隔熱堵頭和樣品支架，熱電偶測(cè)溫點(diǎn)位于樣品正下方 右·端法蘭安裝在滑軌上可以直接推拉，實(shí)現(xiàn)快速放取樣品。 | |
控制系統(tǒng) | 可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩； | |
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嵌入式操作系統(tǒng)、中英文互換圖形界面、7寸真彩觸屏輸入、智能式人機(jī)對(duì)話模式、實(shí)驗(yàn)過程更加直觀，操作更加便捷。 | ||
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非線性式樣溫度修正；具有預(yù)約啟動(dòng)功能。 | ||
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具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 | ||
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水冷機(jī)（選配） | 型號(hào)：CW-5000 工作電壓：AC 220V 50HZ 工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h 壓縮機(jī)功率：300W 水箱容量：6L 流量：16L/min 凈重：24 Kg | |
真空系統(tǒng)（選配） | 配套機(jī)械泵，真空度可以達(dá)到10-2Pa 配套分子泵，真空度可以達(dá)到10-4Pa | |
產(chǎn)品尺寸 | 約800*540*750mm | |
重量 | 約100kg | |
保質(zhì)期 | 1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件） | |
