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PR-ZP系列多通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)
PR-ZP系列是一款低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜可以與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個(gè)7″的LCD觸摸屏上，便于操控的同時(shí)，可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線(xiàn)和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn).
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
設(shè)備特點(diǎn)：
適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管
氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀(guān)可讀，外形美觀(guān)、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便
采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作
所有儀表及閥門(mén)的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸
產(chǎn)品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 |
工作溫度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
壓差范圍 | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa |
精度 | ±1% FS | ±1% FS | ±1% FS |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS |
流量范圍 | 50、100、200、500Sccm可供客戶(hù)選擇 | ||
流量計(jì)類(lèi)型 | 進(jìn)口質(zhì)量流量器 | ||
接口尺寸 | Φ6.35mm雙卡套接頭 | ||
連接管道 | 采用潔凈拋光的氣路專(zhuān)用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管（可選） | ||
外形尺寸 | 700*700*645mm | ||
凈重 | 約35KG | ||
