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桌面式氣體質(zhì)量流量計(jì) PR-1ZP(桌面式)

PR-1ZP(桌面式)氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于低壓小流量、單種氣體的連續(xù)供氣。氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在控制面板上直觀可讀,操作簡便,流量控制精確,可有效地控制氣體消耗??梢愿苁綘t等設(shè)備配合使用,做CVD、氣氛燒結(jié)等研究實(shí)驗(yàn)。


技術(shù)資料

相關(guān)產(chǎn)品


設(shè)備特點(diǎn)

外形美觀,實(shí)用性強(qiáng),操作簡便;

采用耐腐拋光不銹鋼管或耐腐聚四氟乙烯管;

可靠的混氣裝置可保證氣體混合的均勻性;

均采用標(biāo)準(zhǔn)尺寸接頭,確保其通用性;

氣體密度快捷切換;

流量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄及導(dǎo)出;

多路氣體混合可咨詢溝通定制;

產(chǎn)品

單通道(可定制多通道)

工作溫度

5-45℃

壓差范圍

0.05-0.4MPa

精度

±1% FS

重復(fù)精度

±0.2% FS

流量范圍

50、100、200、500Sccm可供客戶選擇

流量計(jì)類型

進(jìn)口品牌質(zhì)量流量器

接口尺寸

Φ6.35mm雙卡套接頭

連接管道

采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管(可選)

凈重

約5KG