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500℃ 135*135mm 手動(dòng)真空平板熱壓機(jī)PR-VHP-135

PR-VHP-135是一款手動(dòng)真空平板式真空熱壓機(jī),針對(duì)于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移,其可處理最大樣品尺寸為135mm*135mm。儀器最高工作溫度為500℃,在此溫度下可對(duì)樣品施加的最大壓力為40T


技術(shù)資料

相關(guān)產(chǎn)品

基本參數(shù)

· 電源:AC220V , 50Hz ,總功率:約2.4KW

· 兩塊135mm *135mm加熱平臺(tái),采用耐熱模具鋼制成,最高可承受溫度為500℃

· 加熱管布置在上下加熱平臺(tái)的內(nèi)部,以達(dá)到快速加熱的效果

· 兩個(gè)精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺(tái),可設(shè)置30段升降溫程序

上下加熱平臺(tái)和真空腔體

· 上下加熱平臺(tái)都安裝在真空腔體內(nèi),上下加熱平臺(tái)尺寸:135*135mm

· 上下加熱板平面度<0.03mm(在有效面積120mm*120mm范圍內(nèi))

· 真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強(qiáng)筋(防止真空狀態(tài)下腔體變形),真空度可以達(dá)到10-1Pa。

· 內(nèi)部腔體尺寸為:614mm(L) *574mm(W) *514mm(H)

· 可放入樣品最大尺寸:長(zhǎng)*寬*高=150*150*30mm

· 真空腔體前端有一直徑為φ150mm的觀察窗口

圖片1(2).png

· 一個(gè)機(jī)械壓力表安裝在真空腔體上,用于觀察腔室內(nèi)真空度。預(yù)留的KF16接口可選擇安裝數(shù)顯真空計(jì)

· 腔體左側(cè)面板含有兩個(gè)φ12的水管接頭,用于連接水冷設(shè)備,一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用,并通過一個(gè)球閥控制

進(jìn)氣的通斷

· 腔體背面有兩個(gè)φ8mm寶塔氣嘴的出氣口,并分別通過一個(gè)球閥控制出氣的通斷

· 腔體右側(cè)面有一個(gè)KF25和一個(gè)KF40的抽真空接口,方便客戶匹配各種型號(hào)的真空系統(tǒng)

溫控系統(tǒng)

· 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為±1℃,500度恒溫時(shí)的溫度波動(dòng)±10℃,,分別獨(dú)立控制

兩個(gè)加熱平臺(tái)。

· 溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),并帶有過熱和斷偶保護(hù)。

· 最高工作溫度為:500℃(<30 min)

· 最快升溫速率: 5℃/min

· 軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中(另購(gòu))。

壓力控制系統(tǒng)

·最大壓力:40T

·加壓方式:手動(dòng)加壓

·油缸直徑為 Φ80 mm;

·油缸行程為 0-50 mm;

水冷板系統(tǒng)

·兩個(gè)水冷板分別設(shè)置在上下加熱板上,在真空腔體內(nèi)部采用不銹鋼軟管進(jìn)行連接,腔體外部采用透明PVC水管連接水冷機(jī)。

真空系統(tǒng)

可根據(jù)客戶實(shí)驗(yàn)要求選配機(jī)械泵或分子泵組

水冷設(shè)備(選配)

· 型號(hào):CW-5000

· 工作電壓:AC 220V 50HZ

· 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

· 壓縮機(jī)功率:300W,水箱容量:6L

· 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg

· 外形尺寸:550*280*430mm

外形尺寸

·700mm(L) x800mm(W) x 1640mm(H)

重量

·約510Kg

質(zhì)保

· 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

·  特別提示:耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內(nèi)因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)