產品特點

1、高效率: 采用CVD氣相沉積技術，可以在短時間內實現(xiàn)高質量的薄膜沉積，

2、精準控制:通過調節(jié)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，可以實現(xiàn)對沉積速度和沉積厚度的精準控制

3、可定制性:可根據(jù)客戶需求，定制不同的沉積模板和沉積條件，以滿足不同材料的制備要求

4、操作簡便:自動化控制系統(tǒng)和友好的人機界面，使得操作更加簡單方便

加熱爐參數(shù)

功率：220V 4KW

爐膛材質：高純氧化鋁多晶纖維材料+氧化鋁涂層材料

爐膛結構：雙層殼體加風冷隔熱

加熱元件：進口HRE高溫合金電阻絲

可達溫度：1200℃（<1小時）

連續(xù)溫度：1150℃（連續(xù)）

溫度精度：±1℃

熱電偶:K型熱電偶(1根）

推薦升溫速率：≤20℃/分鐘

加熱區(qū)尺寸：200+200（400mm）

標配Φ60*1000mm高純石英管一根，可選配Φ50/Φ80/Φ100*1000mm的石英管

標配一套不銹鋼密封法蘭;采用硅膠密封圈密封,包含鎧裝測溫接口（Φ8m）漏率達5X10^-9 Pam3/s；

采用帶有減震油的機械壓力表，使壓力波動時產生阻尼，減小指針來回擺動

選配KF25或KF40接頭

真空系統(tǒng)

真空度：采用機械泵組可達到5*10^-1Pa（標配），采用分子泵組可達到5*10^-3Pa（選配）

抽速m/h(L/s)：4(1.1)

極限分壓強-無氣鎮(zhèn)（Pa）：5×10^-2

進排氣連接口DN(mm）：KF25

用油量（L)：0.6L

壓阻皮拉尼復合型規(guī)管：

測量范圍：1.0×10^-2～1.067×10⁵Pa

測量精度：1.0*10³Pa ~1.067*10⁵ Pa   ±0.15%的滿量程

1.0×10-1～1.0×102Pa   ±10%的讀數(shù)

高真空手動擋板閥：KD25

波紋管：KF25*800

油霧過濾器：KF25

卡箍及鏈接管件(焊接）：采用KF25全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1×10^-9Pa.m3/s

供氣系統(tǒng)

? 兩通道進口品牌質量流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.01%）；

? 量程可選范圍:（50/100/200/500/1000SCCM）

? 壓差范圍：0.05-0.4MPa

? 精度：±1% FS

? 重復精度：±0.2% FS

? 氣體進出口配件：Φ6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

? 集成式PLC觸摸屏可以統(tǒng)一簡便地進行氣體流量設置。

一年保修，終身技術支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不包含在內。

                 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。