產(chǎn)品特點(diǎn)

1、高效率: 采用CVD氣相沉積技術(shù)，可以在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積，

2、精準(zhǔn)控制:通過調(diào)節(jié)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)沉積速度和沉積厚度的精準(zhǔn)控制

3、可定制性:可根據(jù)客戶需求，定制不同的沉積模板和沉積條件，以滿足不同材料的制備要求

4、操作簡(jiǎn)便:自動(dòng)化控制系統(tǒng)和友好的人機(jī)界面，使得操作更加簡(jiǎn)單方便

加熱爐參數(shù)

功率：220V 4KW

爐膛材質(zhì)：高純氧化鋁多晶纖維材料+氧化鋁涂層材料

爐膛結(jié)構(gòu)：雙層殼體加風(fēng)冷隔熱

加熱元件：進(jìn)口HRE高溫合金電阻絲

可達(dá)溫度：1200℃（<1小時(shí)）

連續(xù)溫度：1150℃（連續(xù)）

溫度精度：±1℃

熱電偶:K型熱電偶(1根）

推薦升溫速率：≤20℃/分鐘

加熱區(qū)尺寸：200+200（400mm）

標(biāo)配Φ60*1000mm高純石英管一根，可選配Φ50/Φ80/Φ100*1000mm的石英管

標(biāo)配一套不銹鋼密封法蘭;采用硅膠密封圈密封,包含鎧裝測(cè)溫接口（Φ8m）漏率達(dá)5X10^-9 Pam3/s；

采用帶有減震油的機(jī)械壓力表，使壓力波動(dòng)時(shí)產(chǎn)生阻尼，減小指針來回?cái)[動(dòng)

選配KF25或KF40接頭

真空系統(tǒng)

真空度：采用分子泵組可達(dá)到5*10^-3Pa（標(biāo)配）

1. 機(jī)械泵：

抽氣速率：4L/S;

電機(jī)功率：400W;

極限壓強(qiáng)6X10^-2Pa

2. 分子泵：

抽氣速率：100L/S;

極限壓強(qiáng)：6X10^-6Pa;

額定轉(zhuǎn)速：43000轉(zhuǎn)/分;

冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷

3. 分子泵控制電源:

電壓：220V;

輸出功率 50W;

輸出頻率：高速704Hz±10%; 低速430 Hz±10%

4. 復(fù)合真空計(jì):

工作電電壓：220V   50~60HZ;

電阻規(guī)阻值：約85 歐;

自動(dòng)保護(hù)（電離）>10Pa;

電離規(guī)管測(cè)量范圍：100~1.0*10^-5Pa;

電阻規(guī)管測(cè)量范圍：105 ～10^-1 pa;

5. 高真空手動(dòng)隔斷閥:

采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口，漏率達(dá)5X10^-9 Pam3/s

6. 連接管路

采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1×10^-9Pa.m3/s

供氣系統(tǒng)

? 兩通道進(jìn)口品牌質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.01%）；

? 量程可選范圍:（50/100/200/500/1000SCCM）

? 壓差范圍：0.05-0.4MPa

? 精度：±1% FS

? 重復(fù)精度：±0.2% FS

? 氣體進(jìn)出口配件：Φ6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? 集成式PLC觸摸屏可以統(tǒng)一簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

                 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。