高效率: 采用CVD氣相沉積技術(shù)，可以在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積；

精準(zhǔn)控制:通過(guò)調(diào)節(jié)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)沉積速度和沉積厚度的精準(zhǔn)控制；

可定制性:可根據(jù)客戶需求，定制不同的沉積模板和沉積條件，以滿足不同材料的制備要求

操作簡(jiǎn)便:自動(dòng)化控制系統(tǒng)和友好的人機(jī)界面，使得操作更加簡(jiǎn)單方便

加熱系統(tǒng)

設(shè)備功率：220V   6KW

爐膛材質(zhì)：高純氧化鋁纖維材料

加熱元件：硅鉬棒(8根）

可達(dá)溫度：1700℃（<1小時(shí)）

連續(xù)溫度：1650℃（連續(xù)）

溫度精度：±1℃

熱電偶:B型熱電偶（1根）

推薦升溫速率：0-1000℃≤10℃/分鐘，   1000-1400℃≤5℃/分鐘   1400-1650℃≤3℃/分鐘

加熱區(qū)尺寸：Φ110mm*310mm

爐管與法蘭

標(biāo)配Φ60*1000mm高純剛玉管一根，可選配Φ50/Φ80/Φ100*1000mm的剛玉管

標(biāo)配一套不銹鋼密封法蘭;采用硅膠密封圈密封,包含鎧裝測(cè)溫接口（Φ8m）漏率達(dá)5X10^-9 Pam3/s；

采用帶有減震油的機(jī)械壓力表，使壓力波動(dòng)時(shí)產(chǎn)生阻尼，減小指針來(lái)回?cái)[動(dòng)

為了獲得抽氣速率可以選配KF25或KF40接頭法蘭

供氣系統(tǒng)

設(shè)備含兩路質(zhì)量流量控制器（50、100、200、500Sccm可選）

壓差范圍：0.05-0.4MPa

精度：±1% FS

重復(fù)精度：±0.2% FS

接口尺寸：Φ6.35mm雙卡套接頭

連接管道：采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管

接口尺寸：6.35mm雙卡套連接

·金屬管路：材質(zhì)：SUS316 φ外：6.35mm φ內(nèi)：4mm

真空系統(tǒng)

真空度：采用機(jī)械泵組可達(dá)到5*10^-1Pa（標(biāo)配）

抽速m/h(L/s)：4(1.1)

極限分壓強(qiáng)-無(wú)氣鎮(zhèn)（Pa）：5×10^-2

進(jìn)排氣連接口DN(mm）：KF25

用油量（L)：0.6L

壓阻皮拉尼復(fù)合型規(guī)管：

測(cè)量范圍：1.0×10^-2～1.067×10⁵Pa

測(cè)量精度：1.0*10³Pa ~1.067*10⁵ Pa   ±0.15%的滿量程

1.0×10^-1～1.0×10²Pa   ±10%的讀數(shù)

高真空手動(dòng)擋板閥：KD25

波紋管：KF25*800

油霧過(guò)濾器：KF25

卡箍及鏈接管件(焊接）：采用KF25全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1×10^-9Pa.m3/s

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

                   2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。