產(chǎn)品特點

1、高效率: 采用CVD氣相沉積技術，可以在短時間內(nèi)實現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積，

2、精準控制:通過調(diào)節(jié)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，可以實現(xiàn)對沉積速度和沉積厚度的精準控制

3、可定制性:可根據(jù)客戶需求，定制不同的沉積模板和沉積條件，以滿足不同材料的制備要求

4、操作簡便:自動化控制系統(tǒng)和友好的人機界面，使得操作更加簡單方便

加熱爐參數(shù)

設備功率：220V   4KW

爐膛材質(zhì)：高純氧化鋁纖維材料

加熱元件：硅碳棒（8根）

可達溫度：1500℃（<1小時）

連續(xù)溫度：1450℃（連續(xù)）

溫度精度：±1℃

熱電偶:S型熱電偶

推薦升溫速率：0-1000℃≤10℃/分鐘，   1000-1400℃≤5℃/分鐘  

爐膛尺寸：Φ150mm*310mm

加熱區(qū)長度：310mm

標配Φ60*1000mm高純剛玉管一根，可選配Φ50/Φ80/Φ100*1000mm的石英管

標配一套不銹鋼密封法蘭;采用硅膠密封圈密封,包含鎧裝測溫接口（Φ8m）漏率達5X10^-9 Pam3/s；

采用帶有減震油的機械壓力表，使壓力波動時產(chǎn)生阻尼，減小指針來回擺動

選配KF25或KF40接頭

真空系統(tǒng)

真空度：采用機械泵組可達到5*10^-1Pa（標配）

抽速m/h(L/s)：4(1.1)

極限分壓強-無氣鎮(zhèn)（Pa）：5×10-²

進排氣連接口DN(mm）：KF25

用油量（L)：0.6L

壓阻皮拉尼復合型規(guī)管：

測量范圍：1.0×10^-2～1.067×10⁵Pa

測量精度：1.0*10³Pa ~1.067*10⁵ Pa   ±0.15%的滿量程

1.0×10^-1～1.0×10²Pa   ±10%的讀數(shù)

高真空手動擋板閥：KD25

波紋管：KF25*800

油霧過濾器：KF25

卡箍及鏈接管件(焊接）：采用KF25全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1×10-9Pa.m3/s

供氣系統(tǒng)

設備含兩路質(zhì)量流量控制器（50、100、200、500Sccm可選）

壓差范圍：0.05-0.4MPa

精度：±1% FS

重復精度：±0.2% FS

接口尺寸：Φ6.35mm雙卡套接頭

連接管道：采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管

接口尺寸：6.35mm雙卡套連接

金屬管路：材質(zhì)：SUS316 φ外：6.35mm φ內(nèi)：4mm

一年保修，終身技術支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

                 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。